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長(cháng)工作距離深紫外顯微物鏡

作者: Kevin    發(fā)布于: 2018-09-03 14:46    點(diǎn)擊:次

1.性能參數

ITEM # COATING M WD EFL NA TFS EA L SPOT SIZE
XWJ-40X-UV UV 40× 1.5mm 4.4mm 0.6 1μm 5.3mm 43.5mm 1μm

注:有限遠共軛

2.外形尺寸

3.成像質(zhì)量測試報告

 

4.檢測結果

4.1焦距測量


焦距測量的測試波長(cháng)為綠光(540nm),該波長(cháng)下的顯微物鏡焦距為5.6mm,實(shí)測焦距為5.3mm

4.3 透過(guò)率測量


  陪鍍片的剩余反射率曲線(xiàn)
  • 利用陪鍍片進(jìn)行測量,陪鍍片厚度:8mm;
  • 結果:內透過(guò)率:99.6%;零件透過(guò)率:98.4%;單面透過(guò)率:99.485%
  • 整體透過(guò)率為94%(193nm處)。
 

4.2像質(zhì)檢測

a)    顯微物鏡對目標(小孔)所成的像 
              

  b)能量集中度曲線(xiàn)


c) 點(diǎn)擴散函數
 
 

5. 實(shí)物照片




 
 
 
 
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